上海金畔生物科技有限公司供应各种高纯材料、镀膜材料、溅射靶材、功能材料,以坚强的技术为基础,我公司开发了多个系列的新材料,这些产品已在航空航天、军工、信息电子、真空镀膜、冶金、功能材料、生物医药、新能源等行业获得广泛应用。目前拥有镀膜材料、溅射靶材、高纯材料、高纯合金等多条生产线,生产设备 ,工艺完善。
PVD(Physical Vapor Deposition)技术是制备薄膜材料的主要技术之一,在真空条件下采用物理方法,将某种材料气化成气态原子、分子或部分电离成离子,并通过低压气体(或等离子体)过程,在基板材料表面沉积具有增透、反射、保护导电、导磁、绝缘、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、装饰等特殊功能的薄膜材料的技术。用于制备薄膜材料的物质被称为 PVD镀膜材料。溅射镀膜和真空蒸发镀膜是最主流的两种 PVD 镀膜方式。
溅射靶材具有高纯度、高密度、多组元、晶粒均匀等特点,一般由靶坯和背板组成。靶坯属于溅射靶材的核心部分,是高速离子束流轰击的目标材料。靶坯被离子撞击后,其表面原子被溅射飞散出来并沉积于基板上制成电子薄膜。由于高纯度金属强度较低,因此溅射靶材需要在高电压、高真空的机台环境内完成溅射过程。超高纯金属的溅射靶坯需要与背板通过不同的焊接工艺进行接合,背板起到主要起到固定溅射靶材的作用,且需要具备良好的导电、导热性能。
按使用的原材料材质不同,溅射靶材可分为金属/非金属单质靶材、合金靶材、化合物靶材等。溅射镀膜工艺可重复性好、膜厚可控制,可在大面积基板材料上获得厚度均匀的薄膜,所制备的薄膜具有纯度高、致密性好、与基板材料的结合力强等优点,已成为制备薄膜材料的主要技术之一,各种类型的溅射薄膜材料已得到广泛的应用,因此,对溅射靶材这一具有高附加值的功能材料需求逐年增加,溅射靶材亦已成为目前市场应用量最大的 PVD 镀膜材料。
超高纯金属及溅射靶材是电子材料的重要组成部分,溅射靶材产业链主要包括金属提纯、靶材制造、溅射镀膜和终端应用等环节,其中,靶材制造和溅射镀膜环节是整个溅射靶材产业链中的关键环节。
以下是客户经常购买的金属溅射靶材产品目录
CAS1344-28-1氧化铝陶瓷靶材
CAS 12055-23-1二氧化铪陶瓷靶材
CAS 1314-23-4氧化锆陶瓷靶材
CAS1313-27-5三氧化钼陶瓷靶材
CAS1314-35-8三氧化钨陶瓷靶材
CAS 1313-99-1 氧化镍陶瓷靶靶材
CAS 10097-28-6 一氧化硅陶瓷靶材
CAS 7631-86-9 二氧化硅陶瓷靶材
CAS 1306-38-3氧化铈陶瓷靶材
CAS 1333-82-0氧化铬陶瓷靶材
CAS 1312-43-2氧化铟陶瓷靶材
CAS 18282-10-5氧化锡陶瓷靶材
CAS 1309-48-4氧化镁陶瓷靶材
CAS 13463-67-7氧化钛陶瓷靶材
CAS 1313-96-8氧化铌陶瓷靶材
CAS 1314-61-0氧化钽陶瓷靶材
CAS 12060-58-1氧化钐陶瓷靶材
CAS 12024-21-4氧化镓陶瓷靶材
CAS 12064-62-9氧化钆陶瓷靶材
CAS 1314-62-1氧化钒陶瓷靶材
CAS 1314-36-9氧化钇陶瓷靶材
CAS 1314-13-2氧化锌陶瓷靶材
CAS 1314-13-2 AZO陶瓷靶材
CAS 1312-43-2 ITO陶瓷靶材
CAS 12069-32-8碳化硼陶瓷靶材
CAS 409-21-2碳化硅陶瓷靶材
CAS 12070-12-1碳化钨陶瓷靶材
CAS 24304-00-5氮化铝陶瓷靶材
CAS25583-20-4氮化钛陶瓷靶材
CAS 12033-89-5氮化硅陶瓷靶材
CAS 24621-21-4氮化铌陶瓷靶材
CAS 12033-62-4氮化钽陶瓷靶材
CAS 10043-11-5氮化硼陶瓷靶材
CAS 13760-80-0氟化镝陶瓷靶材
CAS 7783-40-6氟化镁陶瓷靶材
CAS 1317-40-4硫化铜陶瓷靶材
CAS 1314-90-0硫化锡陶瓷靶材
CAS 1314-98-3硫化锌陶瓷靶材
CAS 2158-89-3铜锌锡硫陶瓷靶材
CAS 12138-09-9硫化钨陶瓷靶材
CAS 1317-33-5硫化钼陶瓷靶材
CAS 1345-04-6硫化锑陶瓷靶材
CAS 1317-37-9硫化铁陶瓷靶材
CAS 12008-21-8 六硼化镧陶瓷靶材
CAS12007-25-9二硼化镁陶瓷靶材
CAS12063-56-8钇铁石榴石陶瓷靶材
CAS12060-00-3钛酸铅陶瓷靶材
CAS12060-01-4 锆酸铅陶瓷靶材
CAS12060-59-2钛酸锶陶瓷靶材
CAS12047-27-7钛酸钡陶瓷靶材
CAS12190-79-3钴酸锂陶瓷靶材
CAS 12057-17-9锰酸锂陶瓷靶材
CAS 15365-14-7磷酸铁锂陶瓷靶材
CAS 10377-52-3磷酸锂陶瓷靶材
CAS 12031-12-8锰酸镧陶瓷靶材
IZO陶瓷靶材
GZO陶瓷靶材
IGZO陶瓷靶材